フェムト秒シリーズ(343nm)

産業用UVフェムト秒レーザー

フェムト秒シリーズ(343nm)
  • 最大95%の高いビーム円形度
  • 最大30Wの高出力
  • リアルタイムレーザー状態監視およびインテリジェント診断機能
  • 自動結晶インデキシング機能および出力表示機能
  • 優れたビーム品質(M² < 1.2)
  • エッジトリガー/レベルトリガーの両方に対応、バースト波形プロファイルの編集が可能

フェムト秒UVレーザーは、世界最高水準の第三高調波発生技術、完全自動結晶インデキシング技術、およびビームシェーピング技術を採用しています。
これらの先進技術により、優れたビーム品質、結晶寿命の長寿命化、そしてレーザー安定性の向上を実現しています。

フェムト秒UVレーザーは、優れたビーム品質(M² < 1.2)と、最大95%の高いビーム円形度を特長としています。
また、パルス安定性および出力安定性にも優れています。

本レーザーは、外部トリガー信号による制御が可能です。
High/Low レベルトリガー、および立ち上がり/立ち下がりエッジトリガーの両方に対応しています。

立ち上がり/立ち下がりエッジトリガーモードでは、Pulse-on-Demand(POD)機能を利用可能です。
さらに、外部アナログ電圧信号によるレーザー出力制御にも対応しています。

また、本レーザーは、自動結晶インデキシング機能、出力表示機能、レーザー状態のリアルタイム監視機能、およびインテリジェント診断機能を搭載しています。
複数の内部センサーによりレーザー状態を常時監視することで、リモートでのトラブルシューティングや復旧対応が可能となり、ユーザーエクスペリエンスを大幅に向上させています。

主な用途

  • 医療機器製造

    医療機器製造

  • バルーン穴あけ加工

    バルーン穴あけ加工

  • 高精度・高速マイクロマシニング

    高精度・高速マイクロマシニング

  • 半導体/太陽電池加工/ウェハスクライビング

    半導体/太陽電池加工/ウェハスクライビング

代表的な性能

  • AOFEMTO-343-15W/30W
    繰り返し周波数に対する出力特性

    繰り返し周波数に対する出力特性

    繰り返し周波数(kHz)

  • AOFEMTO-343-15W/30W
    繰り返し周波数に対する
    エネルギー特性

    繰り返し周波数に対するエネルギー特性

    繰り返し周波数(kHz)

フェムト秒シリーズ(343nm)
5W–100K 15W–500K 30W–1000K
波長(nm) 343
平均出力(W) 5W–100K>5W@100KHz 15W–500K>15W@500KHz 30W–1000K>30W@1000KHz
エネルギー(μJ) 5W–100K>50 >30 15W–500K>30 30W–1000K>30
定格繰り返し周波数(kHz) 5W–100K100 15W–500K500 30W–1000K1000
繰り返し周波数範囲(kHz) 5W–100K50-300 15W–500K300-1000 30W–1000K300-2500
パルス幅(fs) <800
ビーム品質(M²) <1.2
ビーム円形度(%) >90
ビーム径(mm) <3.5
ビーム拡がり角(mRad) <2
位置安定性(μrad/℃) 5W–100K<30 <50 15W–500K<50 30W–1000K<50
偏光比 100:1 線偏光(水平)
パルス間安定性(%RMS) <2
平均出力安定性(12時間以内の変動率%) <3
コールドスタートウォームアップ時間(分) <45
スタンバイウォームアップ時間(分) <15
保管温度範囲(℃) 15〜35
保管湿度範囲(%) 20〜80(結露なきこと)
入力電圧(VDC)/定格電力(W) 24/1000
通信方式 RS232
冷却方式 水冷

レーザーCAD図面

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