フェムト秒シリーズ(515nm)

産業用UVフェムト秒レーザー

フェムト秒シリーズ(515nm)
  • パルス幅800fs未満
  • 最大95%の高いビーム円形度
  • 最大30Wの高出力
  • エッジトリガー/レベルトリガーの両方に対応
  • SYNC出力機能搭載SYNC出力機能搭載
  • 優れたパルス安定性(<2%)

フェムト秒グリーンレーザーは、優れたビーム品質(M² < 1.2)を備え、最大95%の高いビーム円形度を実現しています。
また、パルス安定性および出力安定性にも優れており、5W〜30Wの出力レンジに対応しています。

本レーザーは、外部トリガー信号による制御が可能です。
High/Low レベルトリガー、および立ち上がり/立ち下がりエッジトリガーの両方に対応しています。

立ち上がり/立ち下がりエッジトリガーモードでは、Pulse-on-Demand(POD)機能を利用可能です。
さらに、外部アナログ電圧信号によるレーザー出力制御にも対応しています。

800fs未満の超短パルス幅により、加工時の熱影響をほとんど発生させません。
フェムト秒グリーンレーザーは、医療機器製造、ニチノール金属切断、高分子材料の切断、穴あけ加工など、高精度レーザーマイクロマシニング用途に最適です。

主な用途

  • 医療機器製造

    医療機器製造

  • バルーン穴あけ加工

    バルーン穴あけ加工

  • 高精度・高速マイクロマシニング

    高精度・高速マイクロマシニング

  • 半導体/太陽電池加工/ウェハスクライビング

    半導体/太陽電池加工/ウェハスクライビング

代表的な性能

  • AOFEMTO-515-5W/10W/15W
    繰り返し周波数に対する出力特性

    繰り返し周波数に対する出力特性
  • AOFEMTO-515-5W/10W/15W
    繰り返し周波数に対する
    エネルギー特性

    繰り返し周波数に対するエネルギー特性
フェムト秒シリーズ(515nm)
5W–100K 10W–100K 15W–100K
波長(nm) 515
平均出力(W) 5W–100K>5W@100KHz 10W–100K>10W@100KHz 15W–100K>15W@100KHz
エネルギー(μJ) 5W–100K>50 10W–100K>100 15W–100K>150
定格繰り返し周波数(kHz) 100
繰り返し周波数範囲(kHz) 100k-1M
パルス幅(fs) <800
ビーム品質(M²) <1.2
ビーム円形度(%) >90
ビーム径(mm) <3
ビーム拡がり角(mRad) <2
位置安定性(μrad/℃) <50
偏光比 100:1 線偏光(水平)
パルス間安定性(%RMS) 10時間で<2
平均出力安定性(12時間以内の変動率%) <3
コールドスタートウォームアップ時間(分) <45
スタンバイウォームアップ時間(分) <15
動作温度範囲(°C) 15~35
動作湿度範囲(%) 20〜80(結露なきこと)
保管温度範囲(℃) -20〜50
保管湿度範囲(%) 20〜80(結露なきこと)
入力電圧(VDC)/定格電力(W) 24/1000
通信方式 RS232
冷却方式 水冷

レーザーCAD図面

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